أهداف مخصصة لرش التيتانيوم

أهداف مخصصة لرش التيتانيوم

تعمل أهداف رذاذ التيتانيوم المخصصة كمواد مصدرية عالية النقاء-لأنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تم تصميم هذه الأهداف هندسيًا لتطبيقات طلاء أشباه الموصلات والطلاءات المقاومة للتآكل{2}}والبصرية، وتتم معالجتها عن طريق الصهر بالحث الفراغي أو تعدين المساحيق، متبوعة بمعالجة ميكانيكية حرارية متعددة-تمرير- لتحقيق هياكل حبيبية دقيقة ومتساوية المحاور. متوفر في تكوينات مستوية (مستطيلة ودائرية) وقابلة للتدوير، ومتوافقة مع ألواح دعم من النحاس أو الألومنيوم عبر الربط المعدني.
 

نظرة عامة على المنتج

 

 

تعمل أهداف رذاذ التيتانيوم المخصصة كمواد مصدرية عالية النقاء-لأنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تم تصميم هذه الأهداف هندسيًا لتطبيقات طلاء أشباه الموصلات والطلاءات المقاومة للتآكل{2}}والبصرية، وتتم معالجتها عن طريق الصهر بالحث الفراغي أو تعدين المساحيق، متبوعة بمعالجة ميكانيكية حرارية متعددة-تمرير- لتحقيق هياكل حبيبية دقيقة ومتساوية المحاور. متوفر في تكوينات مستوية (مستطيلة ودائرية) وقابلة للتدوير، ومتوافقة مع ألواح دعم من النحاس أو الألومنيوم عبر الربط المعدني.

 

 

المواصفات الفنية

 

 

المعلمة

نطاق المواصفات

طريقة الاختبار والمرجع البصري

نقاء المادة

99.9% (3N) إلى 99.995% (4N5)

GDMS (قياس الطيف الكتلي لتفريغ التوهج)

• عرض نموذج شهادة اختبار GDMS: [تنزيل ملف PDF / عرض التقرير]

كثافة

>= 4.50 g/cm^3 (>99.5% نظري)

طريقة غمر أرخميدس

متوسط ​​حجم الحبوب

< 100 um (customizable to < 50 um)

EBSD / المجهر الميتالوغرافي

• عرض صورة بنية الحبوب المجهرية: [فحص صورة مجهرية SEM]

أبعاد

قطر يصل إلى 400 مم (مستو)؛ الطول يصل إلى 3500 مم (قابل للتدوير)

الماسح الضوئي بالليزر CMM

لوحة الدعم

OFHC النحاس، التيتانيوم الصف 2، سبائك الألومنيوم

اختبار الموجات فوق الصوتية لنسبة الفراغ السندات

الترابط النزاهة

>تغطية منطقة الترابط بنسبة 95%

مسح بالموجات فوق الصوتية-.

• عرض خريطة عيوب فحص -C: [فحص الفحص بالموجات فوق الصوتية]

 

 

الميزات الرئيسية

 

 

البنية المجهرية الموحدة:تعمل المسارات الميكانيكية الحرارية التي يتم التحكم فيها على التخلص من النقاط الصعبة المحلية، مما يقلل من الانحناء وتولد الجسيمات أثناء تشغيل-الطاقة العالية للتيار المستمر أو التردد اللاسلكي.
شوائب غازية منخفضة:يتم التحكم بشكل صارم في العناصر الخلالية (الأكسجين والنيتروجين والكربون والهيدروجين) عند أقل من 500 جزء في المليون لمنع تقصف الغشاء وارتفاع المقاومة الكهربائية.
واجهة حرارية موثوقة:توفر روابط الإنديوم أو المطاط الصناعي أو الإيبوكسي- الفضي موصلية حرارية عالية، مما يمنع تشوه الهدف وتشققه تحت تدفق الحرارة العالي.
التسامح بالقطع الدقيق:يضمن الطحن باستخدام الحاسب الآلي تفاوتات مشددة في التسطيح (+/- 0.05 مم) وتركيب آمن للكاثود.

 

 

التطبيقات

 

 

أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة:ترسيب PVD للطبقات العازلة والمعادن الملامسة والبذور المترابطة على رقائق السيليكون.
الطلاءات البصرية:الطلاءات المضادة للانعكاس (AR)-، وطبقات الترشيح، وترسيب الزجاج المعماري المنخفض-E عبر الرش المغنطروني.
ارتداء-مقاومة ومزخرفة:الطلاءات الصلبة TiN وTiAlN وTiCN لأدوات القطع والمزروعات الطبية والأجهزة الإلكترونية الاستهلاكية.
البحث والتطوير:تركيبات سبائك مخصصة وأحجام حبيبات مخصصة لمختبرات الأغشية الرقيقة-بالجامعات والشركات.

 

 

التخصيص والتصنيع

 

 

يتم إنشاء الأهداف مباشرة من ملفات CAD الخاصة بالعميل وهندسة الغرفة المحددة.
ذوبان وتشكيل:يضمن الصهر بالحث الفراغي (VIM) المقترن بإعادة صهر القوس الفراغي (VAR) فصلًا منخفضًا. يتم تقسيم عملية الطرق والدحرجة الساخنة اللاحقة إلى -تشعبات مصبوبة.
قدرات التصنيع:تتعامل عمليات الطحن باستخدام الحاسب الآلي (CNC) متعددة المحاور، وخراطة المخرطة، وأسلاك EDM مع الأشكال الهندسية المعقدة، وقنوات التبريد الملولبة، وحواف الحواف المحددة.
دعم لوحة التكامل:تستخدم مرافق الربط الداخلية-معدات اللحام والضغط الفراغي لربط البلاط المستهدف بأنابيب النحاس أو الألومنيوم الداعمة، ويتم التحقق من ذلك من خلال اختبارات القص المدمرة والمسح بالموجات فوق الصوتية.

 

 

مراقبة الجودة والشهادات

 

 

تخضع كل دفعة إنتاج لفحص صارم قبل التعبئة.
الاختبارات التحليلية:يتم توفير تقارير تحليل GDMS مع كل دفعة للتحقق من مستويات الشوائب المعدنية والخلالية.
الاختبارات غير المدمرة (NDT):يكشف فحص المسح بالموجات فوق الصوتية C- بنسبة 100% على التجميعات المرتبطة عن التصفيح الداخلي أو الفراغات التي يصل قطرها إلى 2 مم.
التحقق من الأبعاد:يسجل فحص CMM بالليزر أبعاد التركيب الهامة واستواء السطح.
الامتثال للمعايير:تم تصنيعها بموجب أنظمة إدارة الجودة ISO 9001:2015.

 

 

التعبئة والتغليف والتسليم

 

 

ختم الفراغ:يتم تنظيف الأهداف، وتجفيفها، وإغلاقها بإحكام في أكياس مفرغة من الهواء -مضادة للكهرباء الاستاتيكية داخل بيئة غرف الأبحاث من الدرجة 10000.
توسيد وقائي:معبأة في رغوة بولي إيثيلين (HDPE) عالية الكثافة -مقولبة ومُصممة خصيصًا وصناديق خشبية قوية لمنع خدوش السطح وتشقق الحواف والصدمات العابرة.
وثائق الشحن:تشتمل كل شحنة على شهادة التحليل (COA)، وصحيفة بيانات سلامة المواد (MSDS)، وتقرير فحص الأبعاد.

 

 

التعليمات

 

س: ما هو الحد الأقصى للنقاء المتاح لأهداف رش التيتانيوم؟

ج: يصل الإنتاج القياسي إلى نقاء 99.995% (4N5). تخضع درجات محددة لتطبيقات أشباه الموصلات لتخفيض الغاز بشكل متحكم فيه للحفاظ على مستويات الأكسجين أقل من 300 جزء في المليون.

س: كيف يمكنك منع الانحناء أثناء -التناثر عالي الطاقة؟

ج: يتم تخفيف الانحناء عن طريق الحفاظ على حجم حبيبي ناعم وموحد (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.

س: ما هو وقت الاستجابة القياسي للأبعاد المخصصة؟

ج: يتم شحن الأهداف المستوية القياسية خلال 2 إلى 3 أسابيع. عادةً ما تستغرق الأهداف أو التجميعات المخصصة القابلة للتدوير والتي تتطلب ألواح دعم وربط متخصصة من 4 إلى 6 أسابيع.

س: هل يمكنك توفير الأهداف المرتبطة مسبقًا بألواح الدعم النحاسية؟

A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >تغطية السندات 95%.

س: ما هي البيانات المضمنة في تقرير اختبار المواد (MTR)؟

ج: تتضمن كل شحنة تحليل الشوائب الكيميائية GDMS، وقياسات الكثافة، وبيانات توزيع حجم الحبوب، وخرائط فحص الترابط بالموجات فوق الصوتية.

س: هل توقعون -اتفاقيات عدم الإفصاح (NDAs) لتصميمات الأهداف الخاصة؟

ج: نعم. تتم حماية الرسومات المخصصة ونسب السبائك الخاصة وتصميمات واجهة الكاثود المحددة بموجب اتفاقيات عدم الإفصاح القياسية الخاصة بالشركة قبل المراجعة الفنية.

 

 

طلب عرض أسعار

 

 

قم بتوفير الأبعاد المستهدفة ودرجة النقاء والكمية ومتطلبات لوحة الدعم لتلقي عرض أسعار فني رسمي وتقدير المهلة الزمنية في غضون 24 ساعة.
[إرسال طلب عرض الأسعار / تحميل الرسومات]

الوسم : أهداف مخصصة لرش التيتانيوم، الصين مخصصة لأهداف رش التيتانيوم للمصنعين والموردين والمصنع

إرسال التحقيق