أهداف الاخرق المستديرة من التيتانيوم

تعمل أهداف الترشيع الدائرية المصنوعة من التيتانيوم كمصدر{0}عالي النقاء لمصدر الكاثود لأنظمة رش المغنطرون والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تم تصنيع هذه الأهداف الدائرية من سبائك التيتانيوم المنصهرة المفرغة، وتوفر هياكل مجهرية موحدة لضمان تفريغ البلازما المستقر، ومعدلات نمو الأغشية الرقيقة-المتوقعة، والتوصيل الكهربائي المتسق عبر خطوط أشباه الموصلات والطلاء البصري والزخرفي.

حجم الحبوب الدقيقة والموحدة:تمنع المعالجة الحرارية-الميكانيكية الحرارية التي يتم التحكم فيها ارتفاع درجة الحرارة الموضعية، مما يقلل من توليد الجسيمات وعيوب الثقب أثناء عمليات ترسيب الطاقة العالية-.
شوائب غازية منخفضة:تعمل المستويات الخلالية الخاضعة للتحكم للأكسجين والنيتروجين والكربون والهيدروجين على تقليل الانحناء الدقيق داخل الحجرة المفرغة.
قوة الترابط المعدنية العالية:يؤكد المسح بالموجات فوق الصوتية تغطية الترابط بنسبة > 95% بين بلاط التيتانيوم المستهدف واللوحة الخلفية النحاسية، مما يضمن النقل الحراري والكهربائي الأمثل.
التسامح الأبعاد الدقيقة:تحافظ التصنيع باستخدام الحاسب الآلي على القطر الخارجي وتفاوت السُمك في حدود +/- 0.1 مم لتركيب النظام بشكل دقيق.

أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة:ترسيب قطب البوابات وحواجز الانتشار وطبقات البذور للدوائر المتكاملة.

الطلاءات البصرية:طبقات مضادة للانعكاس (AR)-، ومرشحات بصرية، وتحسينات دقيقة للعدسات.

الزجاج المعماري وزجاج السيارات:طلاءات منخفضة-انبعاثية (منخفضة-E) وأغشية للتحكم في الطاقة الشمسية من أجل زجاج فعال في استخدام الطاقة-.

الديكور والتآكل-PVD المقاوم:طبقات وظيفية من نيتريد التيتانيوم (TiN) أو نيتريد كاربو التيتانيوم (TiCN) للأجهزة وساعات اليد وأدوات القطع.

يستخدم الإنتاج الصهر بالحث الفراغي (VIM)، وإعادة الصهر بالقوس الفراغي (VAR)، والتزوير متعدد الاتجاهات-، والدحرجة الدقيقة. يقوم مسار المعالجة هذا بتكسير الهياكل المصبوبة للتخلص من تجاويف الانكماش الداخلي.
هندسات مخصصة:حواف متدرجة، ومشطوفة، وفتحات تبريد ملولبة، وأقطار غير قياسية- تم تعيينها لمسدسات كاثود معينة (على سبيل المثال، Angstrom Sciences، وAJA International، وLesker).
خدمات الربط:يتم تنفيذ الربط بالإنديوم والربط بالمطاط الصناعي-داخل الشركة لتحمل كثافات الطاقة العالية بدون فك الارتباط الحراري.

التحليل الكيميائي:يتحقق قياس الطيف الكتلي للبلازما المقترنة حثيًا (ICP-MS) وقياس الطيف الكتلي لتفريغ التوهج (GDMS) من تركيزات العناصر المعدنية والعناصر الخلالية. يتم شحن كل دفعة مع شهادة تحليل مخصصة (CoA).
الاختبارات غير المدمرة (NDT):يقوم فحص المسح بالموجات فوق الصوتية- بتقييم سلامة الترابط بين الهدف ولوحة الدعم، وفحص الفراغات الداخلية أو التصفيح.
فحص المعادن:يؤكد الفحص المجهري الضوئي توزيع حجم الحبوب وتجانس الطور.
الامتثال للمعايير:تم تصنيعها بموجب أنظمة إدارة الجودة ISO 9001:2015.

التغليف الأولي:غرف الأبحاث-درجة التفريغ-أكياس بولي إيثيلين مزدوجة محكمة الغلق ومملوءة بغاز الأرجون الخامل.
التغليف الثانوي:قوالب إسفنجية EPE ممتصة للصدمات معلقة- موضوعة في صناديق من الخشب الرقائقي للتصدير شديدة التحمل - لمنع تقطيع الحواف أو خدش السطح أثناء النقل.
الوثائق المتضمنة:شهادة التحليل، وصحيفة بيانات سلامة المواد (MSDS)، وتقرير فحص الأبعاد.

أرسل مواصفات الهدف (النقاء والأبعاد والكمية ومتطلبات لوحة الدعم ونموذج الكاثود المستهدف) لتلقي عرض أسعار رسمي وورقة بيانات المواد خلال 24 ساعة عمل.

الوسم : أهداف رش التيتانيوم الدائرية، أهداف رش التيتانيوم الدائرية في الصين المصنعين والموردين والمصنع