نظرة عامة على المنتج
أهداف تناثر التيتانيوم هي مواد استهلاكية عالية النقاء- تُستخدم في أنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) لترسيب أغشية رقيقة من التيتانيوم أو مركبات -التيتانيوم على الركائز. تم تصميم أهدافنا خصيصًا لمعدلات رش موحدة والحد الأدنى من توليد العيوب، حيث تدعم -الرش المغنطروني عالي الطاقة (HIPIMS) وإعدادات المغنطرون DC/RF عبر خطوط الطلاء شبه الموصلة والبصرية والزخرفية.
المواصفات الفنية
|
المعلمة |
نطاق المواصفات |
|
نقاء المادة |
99.9% (3N) إلى 99.999% (5N) |
|
الدرجات القياسية |
ASTM B348 الصف 1 / الصف 2 (CP Ti)، سبائك التيتانيوم (على سبيل المثال، TiAl، TiSi) |
|
كثافة |
>= 4.51 g/cm3 (>كثافة نظرية 99.5%، تم قياسها عبر مبدأ أرخميدس) |
|
متوسط حجم الحبوب |
< 100 um (fine, equiaxed microstructure) |
|
الأبعاد (مستو) |
الطول حتى 3000 ملم، العرض حتى 800 ملم، السمك 3-25 ملم |
|
الأبعاد (قابلة للتدوير) |
القطر الخارجي يصل إلى 400 ملم، الطول يصل إلى 4000 ملم |
|
لوحة الدعم |
OFHC النحاس (C10200 / C11000) أو الألومنيوم (6061) |
|
تكنولوجيا الترابط |
الرابطة الإنديومية أو الرابطة المطاطية أو الرابطة الانتشارية (معدل الفراغ <1%) |
الميزات الرئيسية
البنية الدقيقة الدقيقة
تؤدي المعالجة الميكانيكية الحرارية -المتحكم بها إلى إنتاج متوسط حجم الحبوب أقل من 100 ميكرومتر، مما يضمن أنماط تآكل موحدة ويمنع الرش التفضيلي.
التحكم في نقاء الغاز
تعمل عمليات الصهر بالحث الفراغي (VIM) وصهر شعاع الإلكترون (EBM) على تقليل شوائب الغاز الخلالي (O، N، H، C) إلى أدنى حد ممكن.
الرابطة الموصلية الحرارية العالية
يؤدي الانتشار أو ربط الإنديوم بألواح دعم النحاس OFHC إلى منع تشوه الهدف والتشقق المبكر تحت -تفريغ البلازما عالي الكثافة.
انخفاض توليد الجسيمات
تمنع الكثافة العالية وغياب الفراغات الدقيقة -الداخلية الانحناء وتكوين العقيدات أثناء عمليات الطلاء الطويلة.
التطبيقات
أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة
ترسيب طبقات الحاجز، وطبقات الاتصال، وطبقات البذور المترابطة في تصنيع IC.
شاشات العرض المسطحة (OLED/LCD)
تكوين -طبقات موصلة وبكسلية تعمل على -طبقات الترانزستور الرقيقة (TFT).
الطلاءات البصرية
الطلاءات المضادة-للانعكاس (AR)، وطبقات الترشيح، وتصنيع الزجاج المعماري المنخفض-E.
ارتداء-طبقات صلبة مقاومة ومزخرفة
ترسيب TiN وTiCN وTiAlN على أدوات القطع ومكونات السيارات والأجهزة الصحية.
طريق التصنيع:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->الترابط.
القدرات المخصصة:أشكال هندسية مخصصة (مستطيلة، دائرية، مجزأة، قابلة للتدوير)، وتصميمات مخصصة لقنوات تبريد اللوحة الخلفية، ومتطلبات محددة لتوجيه الحبوب.
التصنيع الميكانيكي داخل-الآلات المنزلية:يحقق الطحن والخراطة باستخدام الحاسب الآلي تفاوتات الأبعاد في حدود +/- 0.1 مم وخشونة السطح حتى Ra 0.4 um.
مراقبة الجودة والشهادات
الاختبار التحليلي
قياس الطيف الكتلي لتفريغ التوهج (GDMS) لتحليل العناصر النزرة؛ أجهزة تحليل الغاز LECO لقياس كمية الأكسجين والنيتروجين والهيدروجين.
التفتيش الهيكلي
تم إجراء اختبار الموجات فوق الصوتية (UT) على 100% من الأهداف المرتبطة للتحقق من سلامة الترابط واكتشاف فراغات الواجهة.
إمكانية التتبع
يأتي كل هدف مزودًا بشهادة تحليل (COA) توضح بالتفصيل نقاء الدفعة الدقيقة، وتقسيم جزء من الشوائب في المليون، ونتائج اختبار الكثافة.
التعبئة والتغليف والتسليم
التعبئة والتغليف
مفرغة من الهواء -مختومة في أكياس-من البولي إيثيلين المقاومة للكهرباء الساكنة، ومعبأة برغوة ممتصة للصدمات-داخل صناديق خشبية معززة للتصدير-لمنع الأكسدة العابرة والأضرار الميكانيكية.
مهلة
2 إلى 3 أسابيع للأبعاد المستوية القياسية؛ من 4 إلى 6 أسابيع للتكوينات المخصصة القابلة للتدوير أو النشر-المرتبطة.
شروط الشحن
FOB أو CIF أو DDP عبر الشحن الجوي أو البحري.
التعليمات
طلب عرض أسعار
للحصول على عرض فني وسعر لنظام الترسيب الخاص بك، يرجى تحديد نموذج نظام PVD الخاص بك، والنقاء المطلوب، والأبعاد، والكميات المقدرة. يستجيب فريقنا الهندسي خلال 24 ساعة عمل بتوفر المواد وجداول التسليم.
نحن متخصصون في تصنيع وتوريد التيتانيوم في الصين ، متخصصون في تقديم خدمة مخصصة عالية الجودة. لا تتردد في شراء أهداف رش التيتانيوم المخفضة في المخزون هنا والحصول على عينة مجانية من مصنعنا. للتشاور حول الأسعار، اتصل بنا.